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氮化硅基板

Si₃N₄陶瓷基板具备高强度、高导热、耐高温、高耐磨性、抗氧化、热膨胀系数低和抗热震等性能，同时具有较好的气密性，可隔离水汽、氧气和灰尘等特点，成为大功率半导体器件基板的最佳材料，被广泛应用到功率集成电路中。

关键词：

氮化硅基板

所属分类：

陶瓷基板

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荣誉资质

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产品优势

♦ 氮化硅基板与氮化铝和氧化铝基板相比，具有两倍以上的抗弯强度

♦ 与氧化铝和ZTA基板相比具有三倍以上的热导率

♦ 具有高的绝缘性和与Si相匹配的热膨胀系数

♦ 优异的抗热震性能和高强度

参数指标

ASD陶瓷基板材料特性
材料牌号				ASD-996	ASD-ZTA	ASD-170	ASD-200	ASD-230	ASD-HS	ASD-Si3N4
Al₂O₃含量		wt	%	99.6%	Al₂O₃/ZrO₂	AlN	AlN	AlN	AlN	Si₃N₄
外观		-	-	白色致密	白色致密	浅灰色致密	米黄色致密	米黄色致密	深灰色致密	深灰色致密
表面粗糙度		Ra	μm	<0.6	<0.6	<0.6	<0.6	<0.6	<0.6	<0.6
表观密度		排水法	g/cm³	≥3.85	≥3.95	≥3.3	≥3.3	≥3.3	≥3.3	≥3.2
光反射率		400nm/1mm	%	83	97	-	-	-	-	-
机械性能	抗弯强度	三点抗弯	MPa	>500	>650	>400	>350	>300	>550	>700
	断裂韧性	压痕法	MPa﹡m^1/2	3	4.0	3.0	3.0	3.0	3.0	6.5-7
	维氏硬度	裁荷4.9 N	GPa	16	15	11	11	11	11	15.0
	杨氏模量	拉伸法	GPa	300	310	320	320	320	320	310.0
热性能	热照胀系数	25 ~ 800℃	×10-⁶/ k	7.9	8.0	4.6-5.2	4.6-5.2	4.6-5.2	4.6-5.2	2.5-3.1
	热导率	25℃	W/(m・k)	>29	>27	>170	>200	>230	>150	>80
	抗热震性	800℃	≥10次	无裂纹	无裂纹	无裂纹	-	-	无裂纹	无裂纹
	比热	25℃	J/（kg∙k）	780	720	720	720	720	720	680
电性能	介电常数	1 MHz, 25℃	-	9.5-10.5	9.5-10.5	8-10	8-10	8-10	8-10	7.8
	介电损耗	1 MHz. 25℃	×10^-4	≤2	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3	≤4
	体枳电阻	25℃	Ω∙ cm	＞10¹⁴	＞10¹⁴	＞10¹⁴	＞10¹⁴	＞10¹⁴	＞10¹⁴	＞10¹⁴
	击穿电压	DC	KV/mm	＞15	＞15	≥20	≥20	≥20	≥20	＞15

ASD陶瓷基板规格尺寸
厚度规格（mm）	尺寸（mm）
	50.8*50.8	76.2*76.2	101.6*101.6	114.3*114.3	120*120	140*190	150*150
0.1	3	——	——	——	——	——	——
0.15	3	——	——	——	——	——	——
0.2	3	3	3	——	——	——	——
0.245	3	3	3	3	3	——
0.32	1/2/3/6/7	1/2/3/6/7	1/2/3/6/7	1/2/3/6/7	1/2/3/6/7	1/2/3/6/7	——
0.337	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	——	——
0.35	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	——	——
0.381	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	——	——
0.5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	3/4/5	1/2/3/6/7	——
0.635	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3
0.762	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3/	1/2/3
1	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5
1.5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5	1/2/3/4/5
2	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3/	1/2/3
3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3/	1/2/3
4	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3	1/2/3/	1/2/3
备注	1、ASD-996,2、ASD-ZTA,3、ASD-170,4、ASD-200,5、ASD-230,6、ASD-HS，7、ASD-Si3O4

ZTA基板

无

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